＜韓国：IT＞電子レンジの電磁波が先端製品の生産ツールに

韓国電気研究院のキム・デホ専任研究員の研究チームは、電子レンジで使用する2.45ギガヘルツのマイクロ波を利用した誘導加熱技術を開発しました。既存の誘導加熱技術は、数十キロヘルツの周波数を使用して金属材料の加熱に利用しており、1ミリメートル以上の厚い素材にのみ適用することができました。

マイクロ波を利用すると、ナノメートルレベルの薄膜を選択的に、1秒以内に1000℃以上に加熱することができます。また電気エネルギーから熱エネルギーへの変換効率が70％と高水準となっています。

研究チームは、開発した技術を国内企業に移転し、ガラス基板上の薄膜を加熱して導電率を30％向上させることに成功しました。今後、大面積熱処理が可能なプロセス装置として商用化を推進する事になっており、来年プロトタイプの開発を完了し、再来年の現場適用試験が予定されています。

キム・デホ先任研究員は「導電性薄膜だけでなく、半導体薄膜など多様な素材の熱処理が可能となるよう開発する計画」とし、「今後、関連素材産業への新たな発展動力になる」と期待しています。
（出所：韓国・電子新聞、2017年11月13日付け内容）
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