＜韓国：先端素材＞半導体薄膜新検査技術の開発

韓国標準科学研究院（KRISS）素材エネルギー融合測定センターのユン・ジュヨウン責任研究員の研究グループが半導体やOLED（有機発光ダイオード）の製造工程で、蒸着する事なく薄膜材料を単独で評価する技術を開発しました。

加熱した金属蒸気を物体表面に薄く付着させる蒸着は半導体やOLEDを製造するときに必要となる工程です。

薄膜材料として使われる有機物質は真空環境で蒸着する必要があり、空気中に露出すると、分解が起こり、爆発の危険性もあります。

現在は、真空環境を維持し気化全固体・液体材料の物理的特性を扱う技術が不足しているため、素材を基板に付着した後、その属性を検査する方法が主に用いられています。

研究チームは、真空、高温環境で、長期間有機物質を測定することが可能なシステムを開発しました。今回開発した物性測定技術を利用すれば、真空環境で素材物質の蒸気圧、状態変化点、熱的・化学的安定性、蒸気組成比のような様々な物性を正確に把握することができるとKRISSは説明しています。

ユン責任研究員は、「この源泉技術は国内60以上のメーカーの技術サポートをして蓄積した経験が投入された」とし、「製品の信頼性と生産性を高め、輸入依存度が高い半導体・OLED薄膜用素材の国産化にも寄与することができる」と述べています。
（出所：韓国・聯合ニュース、2018年1月31日付け内容）
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