＜韓国：IT＞磁気浮上技術を用いた半導体運搬装置

科学技術情報通信部傘下の韓国機械研究院機械システム安全研究本部磁気浮上研究室のパク・ドヨン博士の研究チームが、真空チャンバ内で800kg級キャリアを磁気浮上によって往復移動させる技術を開発した事を明らかにしました。

工程では、コの字型構造のフレームに取り付けられた電磁石を利用して動力源がない金属キャリアを浮上させ直線方向に移動させます。キャリアに設置された永久磁石と、フレームに取り付けられたリニアモーター、浮上を制御する浮上電磁石、横方向の動きを制御する案内電磁石によって、摩擦なしに正確な間隔を維持したまま移動する構造になっています。

今回の技術は、粉塵を引き起こす摩擦を遮断することにより、OLEDディスプレイや半導体製造プロセスの中で、蒸着工程で最も避けるべき水分と粉塵の遮断効果が優れており、磁気浮上量は1㎜で最大±7.65㎛の変動誤差になっています。

パク博士は「高清浄環境で精密な移送と浮上が可能な技術によって、市場拡大が予測される半導体、ディスプレイ産業の生産性を向上させるために貢献する」とし、「信頼性の高い磁気浮上源泉技術だけでなく、応用技術まで開発したことで、生産現場適用も遠くないことを期待する」と述べています。
（出所：韓国・ZDNet Korea、2018年2月26日付け内容）
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